計算科学シミュレーションによる電界がCeO₂ナノ砥粒の研磨特性に与える影響の解明

抄録

本研究では電界がCeO₂ナノ粒子の研磨プロセスに与える影響を明らかにするため、分子動力学法及び第一原理計算を活用して、電界下における砥粒の研磨特性の変化について検討した。ここで、電界をかけることでCe原子がより表面に露出し、3価の状態で安定化することがわかった。また、そのような砥粒の構造及び電子状態の変化がSiO₂表面研磨に与える影響を議論した。