レーザ光による高アスペクト比小径穴あけのメカニズムの解明

藤井 真人; 比田井 洋史; 松坂 壮太; 森田 昇

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.21.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: A15

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.21.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

レーザ光による高アスペクト比小径穴あけのメカニズムの解明

*藤井真人, 比田井洋史, 松坂壮太, 森田昇

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キーワード: レーザ, 穴あけ, 高アスペクト比, デブリ, 可視化, ビームプロファイル

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抄録

本研究室ではNd:YVO4レーザの第4高調波によるホウ珪酸ガラスに対する穴あけについて研究しており，穴径8μm程度でアスペクト比190の穴加工を可能にしている．しかし，繰り返し周波数の穴形状に対する影響などまだ不明な点は多い．そこで本研究ではレーザ光による高アスペクト比穴あけのメカニズムの解明を目的とする．加工時に飛散するデブリをNd:YAGレーザの第2高調波の照射により観察を試みた．

責任著者(Corresponding author)

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