空気圧ベローズで駆動する静圧案内微動ステージの超精密位置決め制御

抄録

ナノテクノロジーの進展に伴い、特に半導体産業を中心にナノオーダーでの超精密位置決めに対する需要はますます高まっている。この需要に応えるために、空気圧ベローズを用い、弾性ヒンジ案内による微動ステージを製作した。その結果、10[nm]以下の精密位置決め精度と263[μm]の長ストローク化を実現した。本研究では、ステージ案内を弾性ヒンジ案内から静圧案内に変更し、さらなる精密な位置決めと超ストローク化を実現した結果を報告する。