液晶用大型ガラスの非接触搬送に関する研究（多孔質フィルムを絞りに用いた場合）

抄録

液晶ディスプレイ用のマザーガラスのカラーフィルタの検査工程では高精度の非接触搬送が求められている．従来，給気孔を通して圧縮空気を送ることでガラスを非接触搬送していたが，給気孔からの流速が速いために静電気の発生等が危惧されていた．そこで本研究では，従来の多孔質と比較して通気性のばらつきが小さく、流速が遅い絞りとしてポリプロピレン多孔質フィルムを用いた簡便な構造を提案し，その有用性を確認した．