超磁歪素子を用いた流体潤滑軸受用ピストンポンプの開発

岡部 貴雄; 吉本 成香; 杣谷 啓

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.255.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: C63

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.255.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

超磁歪素子を用いた流体潤滑軸受用ピストンポンプの開発

*岡部貴雄, 吉本成香, 杣谷啓

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キーワード: 超磁歪素子, 流体潤滑軸受, 制御, 位置決め, 無脈動ポンプ, 真空

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抄録

流体潤滑軸受による精密加工や真空中での半導体の露光を可能にする機構として，超磁歪素子を用いた流体潤滑軸受用ピストンポンプを提案する．この機構はフィードバック制御などの制御が可能な超磁歪素子をポンプのピストン駆動のアクチュエータとして用いることにより，アキュムレータや絞りなしでの低脈動圧力供給と，流体潤滑軸受を少量の潤滑流体で構成可能である．本研究はその有用性を実験的に確認した．

責任著者(Corresponding author)

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