差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め 開ループ駆動における位置決め性能と補正による精度向上

深田 茂生; 佐藤 勇仁; 三村 徹也

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.263.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: C68

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.263.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

差動ボールねじを用いたミリストローク超精密位置決め

開ループ駆動における位置決め性能と補正による精度向上

*深田茂生, 佐藤勇仁, 三村徹也

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キーワード: ボールねじ, 差動機構, 位置決め, 補正

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抄録

本研究は，1 mm程度のストロークにわたってナノメートルレベルの分解能を持つ位置決め機構を差動ボールねじで実現することを目的とする．前報までに，わずかにリードの異なるボールねじを同軸上に二重に配置した同軸二重差動ボールねじを試作した．本報では，ステッピングモータによる開ループ駆動の位置決め性能とねじ溝のリード誤差との関連を考察し，位置決め誤差の補正方法について実験的に検討している．

責任著者(Corresponding author)

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