微小変位特性を用いた精密位置決めに関する研究

抄録

近年，マイクロエレクトロニクスなどの分野においてナノオーダの位置決めが強く要求されている．しかしながら，ダイナミックレンジ，精度，安定性など問題となる点がまだ多く残されている．その中で，摩擦を利用した駆動機構はその原理が単純なことから高精度化が容易であると考えられている．本研究では，接触する二面間に接線力を作用させたときに生じる微小変位特性を用いてナノ位置決機構の開発を試みた経緯について報告する．