超精密ステージの速度制御系の検討

桃井 康行; 柴原 匡

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.267.0

精密工学会学術講演会講演論文集

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: C73

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.267.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

超精密ステージの速度制御系の検討

*桃井康行, 柴原匡

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キーワード: 超精密ステージ, 速度制御

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抄録

ウォーキング型ピエゾモータを用いた超精密ステージの開発を行っている．特に観察・加工の際には精密な位置決めのみならず，極低速での一定速度移動も必要となっている．著者らは速度指令値の積分値と検出位置との偏差からのPID補償と速度指令値のフィードフォワードを組み合わせた速度制御系を提案した．この制御系により極低速域で速度変動が抑えられることを実機で確認した．

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