高速レーザ加工用磁気・静圧ハイブリッドレンズ駆動アクチュエータの位置決め制御

抄録

レーザ加工では，レーザ光で溶解・蒸発させた材料を，アシストガスが排出する．材料の排出性向上を目的とし，光軸とアシストガス用ノズル軸の偏心量を加工状態に合わせ変化させるため，レンズを空気静圧軸受で非接触案内し，半径方向に電磁石で高速駆動する機構を提案，試作した．また，上記機構の位置決め制御，及びレーザ加工機への搭載時に想定される外乱を補償する方法について検討したので報告する．