精密工学会学術講演会講演論文集
2012年度精密工学会春季大会
セッションID: C81
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ゼロパワー式除振ユニットを組み込んだハイブリッド型除振装置におけるフィードフォワード補償
*宋 云飛石野 祐二高崎 正也水野 毅
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抄録
ゼロパワー磁気浮上を利用した除振装置では,高剛性の特徴を持ち,パッシブ型除振装置に組み込むことで,直動外乱に対する振動を抑える.しかし,直動外乱により,ゼロパワー磁気浮上では過渡的に正の剛性を持つバネと同一方向に変位してしまう.本報では,除振ユニットにフィードフォワード補償を導入し,非線形補償を併合した上,性能向上をアップさせる.また,ハイブリッド除振装置ともの適正することにより評価を行った.
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© 2012 公益社団法人 精密工学会
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