有機メディア粒子を用いたジルコニア複合粒子の研磨特性

抄録

筆者らは近年価格の高騰が続くガラス研磨用酸化セリウムの使用量削減技術の開発を行っている。研磨能率と表面粗さのトレードオフの関係を打開するため、従来の研磨に対して新たな粒子を添加した複合粒子研磨法を開発している。本研究では、メディア粒子としてポリマー粒子を用いた複合粒子研磨をジルコニア砥粒に適用し加工特性の検証を行った。その結果ジルコニア砥粒のみの通常研磨に比べ加工特性が向上した。