超音波振動テーブルを用いたガラスの微細加工

抄録

ガラスは硬脆材料であるため，加工精度，効率が低いといった問題がある．これらの問題を改善する機械加工法として工具または工作物に超音波振動を付与する加工の実用化，研究がなされているが，高アスペクト比の微細加工においては加工条件の明確な指針が少ない．そこで超音波振動付与の有無の条件でガラスの微細加工を行い，加工面性状，工具状態を比較した結果を示し，超音波振動付与が加工に及ぼす影響を調査した．