超音波援用精密研削による微細3D構造の加工製作における基礎研究

藤本 正和; 呉 勇波; 金井 秀生; 神 雅彦

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.321.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: D33

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.321.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

超音波援用精密研削による微細3D構造の加工製作における基礎研究

*藤本正和, 呉勇波, 金井秀生, 神雅彦

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キーワード: 超音波振動, 精密研削, 微細3D構造

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抄録

本研究は，μ-TAS用金型等が有する微細な凹凸を高精度・高能率に加工することを目的とし，砥石軸方向に超音波微振動を付加しながら微細3D形状を研削加工する手法を提案している．その基礎研究として，微細なリブ形状の矩形断面の研削過程を，幅1mm以下の金型鋼を加工する平面研削としてモデル化した超音波援用研削実験を試み，研削特性値や砥石作用面性状などへ及ぼす超音波振動の影響を明らかにしたので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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