精密工学会学術講演会講演論文集
2012年度精密工学会春季大会
セッションID: E08
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c-BN膜の耐熱特性
*野間 正男所 敏夫山下 満島 秀貴笹瀬 雅人
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キーワード: c-BN, 薄膜, 耐熱特性
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抄録
我々のグループは、c-BN膜の応用研究を行っている。アルミダイカストプロセスに対する応用で、c-BN膜はヒートショックにより剥離しない特性が必要である。我々のヒートショックテストは300℃と700℃の繰り返しを実施した。30回の加熱により、c-BN膜は加熱部周辺で剥離した。
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© 2012 公益社団法人 精密工学会
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