堆積薄膜面の機械的特性評価

関根 優志; 角田 陽

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.367.0

抄録

近年，MEMSなど精密微細機械要素の実用化が進み，材料としては微細加工技術の蓄積があるSiが使用されることが多いが，Siの材料特性では対応できない場合もある．そこでSi基板上に薄膜を堆積すれば，摩擦摩耗特性，硬度，ヤング率や融点などの表面機械的特性を低コストで改善できる可能性がある．本研究ではSi基板およびその上の堆積薄膜について，マイクロ・ナノレベルの表面機械的特性の評価を行った．

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