マイクロスタンプを用いたマスクレス微細めっきパターン形成技術の開発

抄録

本研究では，マイクロメートルオーダの形状寸法を有する微細な金属構造体を安価に量産し得る製造技術として，新規なマスクレス微細めっきパターン形成技術の開発を行っている．本報では，最小線幅20μm程度のパターン形成を目的として，軟質なマイクロスタンプを用いた位置選択的な無電解めっきおよび電気めっきの可能性を検討した．特に，スタンプ流路内へのめっき液の導入方法の最適化と基板材質の影響を調査した．