焼鈍法による金属ナノドットアレイの生成に及ぼす影響因子

抄録

本報では，超微細塑性加工と焼鈍を組み合わせたナノドットアレイの作製法を検討する。本プロセスでは，まず基板上に金属薄膜をコーティングし，超微細塑性加工によりその金属薄膜に格子溝をパターニングした後，試験片を焼鈍することにより金薄膜を自己凝集させる。基板材料，金属材料，焼鈍条件などがナノドットアレイの生成に及ぼす影響を検討する。