精密工学会学術講演会講演論文集
2012年度精密工学会春季大会
セッションID: F07
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ミラー多重反射を併用するプリズム反射・透過光強度比較型水準器の開発
*加藤 佑人松本 一弥森川 朝仁吉田 昌弘明田川 正人
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抄録
近年,水準器と変位計を併用した多点法による平面度測定の研究が行われている.本研究では平面度測定のために分解能 0.1 arcsec 以下を有する水準器を開発する.傾斜変化測定にはレーザ光がプリズムへ入射した時に発生する反射・透過光強度が入射角度に依存することを利用する.2枚のミラー間で生じる光てこを用い,プリズムへの入射角度変化を倍増させ,感度向上を図る.本稿では新型の水準器の構成と実験結果を示す.
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© 2012 公益社団法人 精密工学会
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