モザイク格子サーフェスエンコーダに関する研究 マルチプローブセンサヘッドの開発

細野 幸治; 金 于載; 清水 裕樹; 伊東 聡; 高 偉

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.431.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: F08

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.431.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

モザイク格子サーフェスエンコーダに関する研究

マルチプローブセンサヘッドの開発

*細野幸治, 金于載, 清水裕樹, 伊東聡, 高偉

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キーワード: 計測, 3軸変位, 光学式変位センサ

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抄録

筆者らは，2枚のXY格子からのXY方向±1次回折光によって生じる干渉信号からXYZ 3軸の変位を同時計測できる3軸サーフェスエンコーダを提案してきた．本センサはXY格子を3軸変位検出の計測基準として用いているため，XY方向の計測範囲はスケール用XY格子のサイズによって決まる．本報では，モザイクXY格子によりXY方向の計測範囲を拡大する手法を提案する．モザイクXY格子に対応したセンサヘッドを開発し，その有効性を確認した．

責任著者(Corresponding author)

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