抄録
現在、ミラーやレンズといった光学素子をナノメートルオーダーで加工・計測する技術が発展している。計測においては、三次元測定機や干渉計といった測定法が存在するが、光学素子の表面形状を1nmの不確かさで測定できる性能を有するに至っていない。我々はこのような性能を有する法線ベクトル追跡型形状測定法について研究している。本測定法を用いて試料表面の絶対形状を求めるためには、測定光路長の推定が不可欠である。本研究では、測定光路長を推定するための自律較正法について提案し、測定光路長の推定が可能なことを示した。一方で、推定された測定光路長の不確かさの見積りについて課題が残った。
