参照平板の横シフトおよび逐次二点法を組み合わせた平坦面の真直度輪郭測定

抄録

本研究は，参照平板の横シフトを取り入れた新たな二点法に対して検討すると共に，センサの不確かさが最終結果の不確かさにどのように影響するかを検討した．その結果，傾斜計の不確かさから放物線状の偏りが生じた．さらに，変位計のランダムノイズから最終結果の不確かさが増幅され，この不確かさはサンプリング点数に比例して増加した．この不確かさを低減するためにフィルタによる平滑化を検討する必要がある．