拡張レーザオートコリメーション法による形状計測装置の開発（第3報）

試料ステージの姿勢誤差補正と安定性の向上

抄録

本研究は平面形状の測定に用いられるレーザオートコリメーション法（LAC法）に偏向機構を加え，曲率を持つ対象の形状測定を可能にするものである．これまでの偏向機構付LAC角度センサは繰り返し性に問題があった．問題の原因となっている試料ステージの姿勢誤差を補正し，測定精度の向上を試みた．また，光源をチョッピングし，ロックイン検出することで分解能の向上を試みた．