広領域精密平板を対象とした実用的な表面輪郭測定システム

抄録

精密定盤の使用に際し，その実表面の形状及び面の平面度を知ることが望ましい．近年では、定盤に広領域化や精密化が求められ，評価を行う測定装置にもこれらの要求が求められている.本研究では，簡易三点法に基づいた表面輪郭測定システムを開発し，精密平板を対象に測定実験を行った．また，繰り返し性の高さから十分に実用化を見込めことを確認した．