衛星用大型ミラーの加工機上高精度形状測定に関する研究 補正加工の実施と不確かさの評価

武藤 啓志; 後藤 成晶; 細野 幸治; 清水 裕樹; 高 偉; 足立 茂; 大宮 恭平; 佐藤 広規; 久田 哲弥; 齋藤 佳史; 久保田 浩明

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.443.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: F17

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.443.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

衛星用大型ミラーの加工機上高精度形状測定に関する研究

補正加工の実施と不確かさの評価

*武藤啓志, 後藤成晶, 細野幸治, 清水裕樹, 高偉, 足立茂, 大宮恭平, 佐藤広規, 久田哲弥, 齋藤佳史, 久保田浩明

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キーワード: 形状測定, 加工機上測定, 衛星用ミラー, 補正加工

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抄録

本研究ではロータリ研削盤により加工される大型ミラーの，高精度機上表面形状測定システムの開発を目的とする．該システムは接触式変位センサを研削盤へ取付けて構成される．測定システムおよびそのアライメント技術の開発について述べた第1報に続き，本講演では測定データに基づいた補正加工実験について報告する．補正加工により加工誤差を従来の1/10に低減し，機上測定システムとしての有用性を示した．

責任著者(Corresponding author)

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