加振ファイバスタイラスを用いた微細三次元形状測定システムの開発

村上 洋; 甲木 昭雄; 佐島 隆生; 山本 立憲

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.455.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: F31

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.455.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

加振ファイバスタイラスを用いた微細三次元形状測定システムの開発

*村上洋, 甲木昭雄, 佐島隆生, 山本立憲

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キーワード: 微細三次元形状測定機, 光ファイバ, 加振ファイバスタイラス, 測定, 微細穴, 微細形状

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抄録

微細金型や超精密機器，光通信機器，MEMSなどの微細加工技術の進歩に伴い，微細形状を測定する重要性は増加している．そこで，微小径の光ファイバプローブ（接触子直径5μm，シャフト径3μm）を用いることにより，低測定力で高精度な測定システムの開発を目的とする．本報では，表面間力による接触子の測定対象面への付着防止のため，加振スタイラスを用いた測定システムを試作し，測定環境の相対湿度が表面間力に及ぼす影響について述べる．

責任著者(Corresponding author)

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