タンデム低コヒーレンス干渉を用いた微小内径の非接触測定技術の開発（第４報）

誤差解析と内径測定実験

抄録

近年，精密加工技術の進歩とともに，微細な内径を持つ加工物も多く作られるようになってきたが，それらの精密な測定，校正手法はまだ十分に確立しているとは言えない．本研究では，タンデム低コヒーレンス干渉計と45°カット光ファイバを用いて，非接触で簡易に内径を測定する新たな手法を提案する．本報では，第３報までで述べてきた理論をまとめたうえで，実際に内径を測定した結果について述べていく．