細管内粗さ測定に関する研究（第1報）

先端加工光ファイバと円柱状反射鏡を用いたセンサの開発

抄録

近年、加工技術の進歩によりアスペクト比の高い深穴や深溝の加工が行われているが、その内部の粗さ等の形状の測定は困難である。そこで、従来の粗さ計の差動トランスに換わる先端加工光ファイバと円柱状反射鏡を使用した新しいセンサを開発し、その基本的な性能を調べた。実験を行った結果、提案するセンサの高さ方向の測定範囲4.5μm、精度24nmとなった。