周波数領域蛍光法を用いたナノ粒子粒径評価に関する研究（第一報）

ブラウン粒子の回転相関時間計測システムの開発

抄録

100nm以下のナノデバイスを作製するために、分子スケールから構造化するbottom-up方法はよく研究されている。Bottom-up方法では、ナノ粒子は非常に重要な基礎要素であり、そのサイズや形状はデバイスの性能に大きい影響を与える。ナノ粒子の品質を確保するために、粒径評価方法が要求されている。この研究では、周波数領域蛍光法を用いた粒径評価方法を提案した。ブラウン粒子の回転相関時間計測システムを開発し、基礎研究を行った。