パッシブTHz近接場顕微鏡の工学的アプリケーション

梶原 優介; 水谷 丈洋; 小宮山 進

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.463.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: F36

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.463.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

パッシブTHz近接場顕微鏡の工学的アプリケーション

*梶原優介, 水谷丈洋, 小宮山進

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キーワード: 散乱型近接場顕微鏡, パッシブ計測, エバネッセント波, テラヘルツ波, 局所熱分布

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抄録

パッシブTHz近接場顕微鏡とは外部照射光を使用しない顕微鏡であり，物質表面において自然発生しているエバネッセント波（波長15ミクロン程度）を60 nmの空間分解能で検出できる．パッシブTHz信号の主要因は局所的な熱エネルギであり，基礎物理分野のほか，様々な工学的アプリケーションが期待できる．本発表では集積回路表面の局所熱分布など，工学応用へ向けたアプローチを紹介する．

責任著者(Corresponding author)

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