微細形状測定のための非接触静電気力走査型プローブ顕微鏡に関する研究

後藤 成晶; 細渕 啓一郎; 伊東 聡; 清水 裕樹; 高 偉

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.469.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: F39

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.469.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

微細形状測定のための非接触静電気力走査型プローブ顕微鏡に関する研究

*後藤成晶, 細渕啓一郎, 伊東聡, 清水裕樹, 高偉

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キーワード: 走査型プローブ顕微鏡, 水晶振動子, 形状測定, 静電気力, 非接触

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抄録

本研究では微細形状測定のための非接触静電気力顕微鏡を提案し，その開発を目的とする．水晶振動子に接着した探針に電荷を与え，探針と試料表面との間に働く静電気力を測定しながら試料表面を非接触で倣い走査する．20 nm以上の探針・試料間距離を維持する完全非接触走査で，静電気力に影響を与える試料表面電荷分布等のパラメータをキャンセルしつつ探針・試料間の絶対距離を算出することにより表面形状を定量的に取得する．

責任著者(Corresponding author)

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