MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第2報） マルチカンチレバーデバイスの基本設計と試作

柳原 慎也; 水頭 正一郎; 清水 浩貴; 田丸 雄摩; 馬場 昭好

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.467.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: F38

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.467.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

MEMS技術を応用した多点法走査形状測定用マルチカンチレバーの開発（第2報）

マルチカンチレバーデバイスの基本設計と試作

*柳原慎也, 水頭正一郎, 清水浩貴, 田丸雄摩, 馬場昭好

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キーワード: 操作形状測定, マルチプローブ法, 3点法, 運動誤差, 微小電気機械素子

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抄録

本研究は，３点法走査形状測定用デバイスの開発を目的としている．開発するデバイスは機械部品の真直度や運動誤差の測定を目的とし，機械計測に則したサイズで設計した．デバイスは半導体製造プロセスを利用したMEMS技術を用いて製作する．MEMS技術を利用することで３つのカンチレバーを高精度に配置することが可能になり，間隔誤差を非常に小さくすることができる．本報では，基本設計と試作したデバイスについて述べる．

責任著者(Corresponding author)

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