定在波シフトによる半導体ウエハ表面の超解像光学式欠陥検査（第13報）

FDTD法を用いた微細配線の散乱特性解析

抄録

近年，高い解像力を持つ光学式半導体欠陥検査技術の需要が高まっている．我々は定在波による周期的照明パターンを空間的にシフトさせ，散乱光変調情報を含む複数画像を取得し，計算機による後処理を加えることで，レイリー限界を超えた解像を行う方法を研究している．本報では，FDTD法を用いて定在波照明を行った時の，試料からの散乱光の挙動をシミュレーションを行って確認し，提案手法に応用することを検討する．