圧電体の電気端制御を用いた超音波振動子の共振周波数制御

抄録

超音波アクチュエータ等の従来の設計において，共振周波数の制御は機械的な設計によってなされてきた．しかし，振動子駆動時には非線形現象や境界条件の変化等により共振周波数の変化が生じる．そこで設計時の考慮が困難であるこの変化を補償するため，共振周波数の動的制御を目指す．本報ではMOSFETによる圧電体の電気端状態を開放―短絡間遷移を用いた，スイッチングのデューティ比による共振周波数制御について報告する．