強誘電体単結晶の精密加工と微細構造観察

抄録

微小位置決めアクチュエータや超音波振動子などの電子機械部品に使用されている強誘電体の圧電性は、強誘電体中の微細構造であるドメイン構造に大きく依存する。本研究では、形状創成に用いる加工がドメイン構造に与える影響を明らかにするために、強誘電体であるマグネシウム・ニオブ酸チタン酸鉛（PMN-PT）単結晶｛001｝面に超精密研削加工ならびにフロート・ポリシング加工を施し、加工面およびドメイン構造観察を行った。