超精密加工機による回折格子加工および評価

抄録

従来、機械刻線式の回折格子加工はルーリングエンジンのバニシング加工法により行われてきた。近年では、5軸超精密加工機により自由曲面上への微細溝加工等が行われるようになってきた。そこで、ルーリングエンジンに代わり、加工自由度の高い5軸超精密加工機によって、超精密切削およびバニシング加工による回折格子加工を実施した。本報では、加工したそれぞれの回折格子の回折効率、迷光を比較した結果について報告する。