超精密加工機上における回折格子の回折特性評価

抄録

回折格子は分光分析のキーパーツとして広く使われている。回折格子の形状創成に超精密加工装置を適用することを目的として、本研究では超精密加工機上で加工された回折格子の回折効率等の特性を評価する手法を提案する。