砥石表面変位の超音波測定技術に関する研究

抄録

砥石表面の変位測定は磨耗量やツルーイング量として利用できるため研削加工の高精度化・高機能化にとって有用である．生産性を考慮すると，回転中の砥石変位を非接触に測定する必要がある．一般的な非接触の計測器はクリーンな環境を前提としており，加工室内での使用は困難である．そこで，本研究では超音波を利用した砥石表面変位の精密測定手法を提案する．本発表では測定システムの開発および基礎実験の結果について報告する．