超精密研磨/CMP技術の進化と将来（キーノートスピーチ）

抄録

研磨技術は、“ものづくりの原点”であり、いつの時代でもそのときの要請に応えるべく最先端の加工技術とされてきた。本稿では、これまで筆者が研究を行ってきた超精密研磨、特にCMPを中心にしてその進化と最新動向について整理・解説する。そして、次代を担っていく研究者・技術者のために、革新的オプトメカトロニクス部品づくりにどのように生かされ世の中に貢献していくか、超精密研磨技術の来し方行く末について論じたい。