画像処理を用いたスラリーフローの定量評価研究

スラリーフローに及ぼす各種研磨条件の影響

抄録

本研究は，精密研磨におけるスラリーフローとそれに及ぼす各種因子の影響解明を目的として，デジタル画像相関法を用いた定量評価手法を提案し，各種検討を行っている．既報では，接触界面における工作物と定盤の相対位置関係がスラリーフローに及ぼす影響，並びに接触界面へのスラリーの流入・排出機構を明らかにした．本報では，工作物材質等の研磨条件がスラリーフローに及ぼす影響に関して検討した結果を述べる．