研磨における化学的作用と機械的作用の影響（５）

抄録

セリア砥粒によるガラスの研磨の機構の，化学的作用と機械的作用の観点からの解明を試みる．先報までに，研磨レートは見かけの砥粒径の影響を受けることを示した．また，研磨前後の砥粒のXPS測定とFT-IR測定を行ない，研磨後のセリア砥粒にはシリカが付着しており，その付着量がチタニア砥粒やジルコニア砥粒による研磨の場合と比べて多量であることが判明した．本報では，砥粒の破壊による活性の変化について調査を行う．