ポリシングパッド表面の微視的・巨視的性状に及ぼすコンディショニングの効果 パッド表面の微小面内変位特性と溝近傍におけるコンタクト解析

畝田 道雄; 表 辰憲; 澁谷 和孝; 中村 由夫; 市川 大造; 石川 憲一; 土肥 俊郎

doi:10.11522/pscjspe.2012S.0.821.0

2012年度精密工学会春季大会

セッションID: J44

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2012S.0.821.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

ポリシングパッド表面の微視的・巨視的性状に及ぼすコンディショニングの効果

パッド表面の微小面内変位特性と溝近傍におけるコンタクト解析

畝田道雄, *表辰憲, 澁谷和孝, 中村由夫, 市川大造, 石川憲一, 土肥俊郎

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キーワード: ポリシング, デジタル画像相関法, 接触画像解析法, ポリシングパッド, 微小変形

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抄録

本研究では，コンディショニングがポリシングパッドに及ぼす影響の解明を目的に，パッド表面状態の微視的，並びに巨視的な評価手法を提案し，現在までに各種検討を行っている．本報告では，IC1000を検討対象として，デジタル画像相関法を用いたパッド表面の微小変形特性の評価，並びに接触画像解析法を用いたパッド溝近傍におけるコンタクト状態の評価を行った結果を述べる．

責任著者(Corresponding author)

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