切削力オブザーバによる微細工具のサブマイクロ接触検知

抄録

マイクロオーダの微細溝や微細穴を所望の形状かつ効率良く切削加工するには、工具と工作物の接触位置を精度高く素早く検知する必要がある。本研究では、外部センサを用いることなく、サーボ情報のみで切削力を高精度に推定できる切削力オブザーバを小径工具の接触検知に応用した。実験より、自動送りでサブマイクロオーダの工具-工作物接触検知が可能であることがわかった。