アコースティックエミッション技術を用いた超精密切削加工状態の認識

抄録

超精密旋盤の座標系設定において工具の刃先とプログラム原点までの距離を測定するために，機械座標系の空間内で工具刃先位置の測定にCCDカメラなどが現在用いられている．本研究では，アコースティックエミッション（AE）技術を用いてダイヤモンド工具と回転中の被削材が直接接触した時に生じる弾性波を利用して，工具刃先位置の検出を行い，切削加工状態についても検討を行った．その結果，工具の接触を20 nmの精度で検出でき，切削加工状態とAE信号の関係についてわかったことを述べる．