ディスプレイ製造工程における微細異物除去装置の開発

抄録

フラットパネルディスプレイの低価格化に伴い、製造工程ではよりいっそうの歩留まり向上が求められている。このため、製造途中に発生する欠陥を修正して良品とする修正技術が必要不可欠となっている。ここでは、製造工程で、基板に付着した微細な異物を、針を用いて、除去・回収するために開発した装置について報告する。本装置では、正常なパターン面に傷を付けないように、針の接触検知機能を付加している。