ＰＣＤブレードによる超精密ダイシング技術の開発(第２報)

外周微小切れ刃による高剛性・高能率を両立する延性モード加工の検討

抄録

PCD(多結晶焼結ダイヤモンド)による次世代ダイシング技術を開発した。前報では、焼結ダイヤモンドの粒界による微小切込みによりチッピングフリーの延性モードダイシング加工を示した。本報では、引き続き延性モード加工を行ないつつも、安定して一定の切込みを与えるため、微小な等間隔の切れ刃ピッチをPCD外周端に恣意的に形成し、脆性材料の高能率かつ安定的な延性モード加工を試みたので報告する。