フェムト秒レーザピーンフォーミングによる微細部品の曲げ加工

抄録

フェムト秒レーザを薄板に集光照射すると、レーザ誘起衝撃波に起因する変形によって、照射面を凸とする方向に薄板を曲げることが出来る。同一のレーザで薄板の切断も可能であるため、切断後の薄板にレーザピーンフォーミングを行うことで、ワンチャックで微細部品の曲げが可能となる。櫛形にレーザ切断した純チタン薄板に曲げ加工を行い、微細部品製造の可能性について検証した。