精密工学会学術講演会講演論文集
2013年度精密工学会秋季大会
セッションID: F13
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光触媒ナノ粒子を用いた3次元微細構造創製に関する研究(第2報)
創製構造物の機能化に向けた実験的検討
*吉越 久倫門屋 祥太郎高橋 哲高増 潔
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キーワード: 光触媒, 微細加工, 誘電体, 金属
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抄録
本研究は金属と誘電体からなる3次元微細構造を創製することを試みるものである.光触媒TiO2ナノ粒子と金属イオンを含む水溶液との混合液中において,波長405nmのレーザ集光点を3次元的に走査することで,軌跡上に金属と誘電体からなる構造物が創製される.創製された構造物に高温熱処理や粒子修飾を加えることで,構造物の機能化を実験的に検討したのでこれを報告する.
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© 2013 公益社団法人 精密工学会
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