タッピングモードを用いた高速原子間力顕微鏡による力覚ナノマニピュレーション

抄録

我々は，原子間力顕微鏡を用いリアルタイムでナノスケールの加工，微粒子の移動などマニピュレーションを行うことを目的とし，タッピングモードを用いた高速画像取得可能な原子間力顕微鏡を開発し，報告してきた．本報告では，タッピングモード高速原子間力顕微鏡を用いたナノマニピュレータによるスクラッチ加工，微粒子の移動等のナノマニピュレーション操作について報告する．