レーザートラップを用いた電気泳動による局所的堆積法により造形された微細立体構造物の機械的物性評価

高井 隆成; 豊田 元気; 岩田 太

doi:10.11522/pscjspe.2013A.0.351.0

2013年度精密工学会秋季大会

セッションID: G26

DOI https://doi.org/10.11522/pscjspe.2013A.0.351.0

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主催: 公益社団法人精密工学会

レーザートラップを用いた電気泳動による局所的堆積法により造形された微細立体構造物の機械的物性評価

*高井隆成, 豊田元気, 岩田太

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キーワード: レーザートラップ, 電気泳動, マニピュレーション, 金コロイド微粒子

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抄録

我々は，電気泳動堆積法とレーザートラップを組み合わせた局所的電気泳動堆積法を開発し，これまでに液中でのコロイドナノ微粒子をドット堆積やラインパターニングなど２次元的に基板を堆積させる技術の他，その応用による３次元での微細構造の堆積について報告してきた．本報告では電子顕微鏡内で動作可能なマニピュレータを用いて本手法を用いて作製した３次元構造物の機械的物性の評価を行ったので報告する．

責任著者(Corresponding author)

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