抄録
FIB/EB複合リソグラフィ(DBL)は、FIBとEBの露光特性の違いを利用し、極めてシンプルなプロセスで高精度に3次元ナノ構造の形成が可能な技術である。本研究では、機能的なメカニカル素子作製に向け、DBL及びアニール処理によりSU-8から作製したカーボンナノ振動子の微細構造特性，機械特性，電気特性の評価を行った。形成されたカーボン構造体は、グラファイトライクな微細構造を有し、ピエゾ抵抗効果を有することが分かった。また、ヤング率，密度はそれぞれ27.9 GPa、密度1.92 g/cm3であった。
